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插入式电磁流量计

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插入式电磁流量计新物理气相沉积应用的流量控制

来源:作者:发表时间:2019-08-29 14:35:42

你知道阳极氧化和发蓝的一个问题吗?虽然它可以防止腐蚀,但它可以刮掉。大多数阳极氧化不会强化表面。镀铬是另一种选择,但铬-6是有毒的,仍然可以磨损,凹坑和剥落。真空沉积系统制造商Duralar希望使用物理气相沉积开发一种快速的类金刚石涂层工艺,这种工艺比任何一种都更硬,更耐用。它可用于防止金属部件的腐蚀,腐蚀和磨损。
 
假设,像Duralar一样,您是物理气相沉积创新者。只是为了让生活变得有趣,让我们假装你没有无限的时间,而且金钱不会在树上生长(!)。研发意味着测试,允许新的阻隔和反应气体配方。您需要改变流量比和气体 - 同时保持准确的流量,因此成功将是可重复的。您不能继续为每次测试购买新的真空插入式电磁流量计,并且您无法承担重新校准每个新配方的停机时间。你得到了照片。
 
Duralar开始使用通用真空沉积系统,但六个内置热插入式电磁流量计中没有一个针对其特殊气体四甲基硅烷(TMS)(汽化液体)进行校准。事实是,这些插入式电磁流量计无法准确地更换气体,无需重新校准的停机时间。所以Duralar打电话给Alicat。虽然TMS不在我们的标准清单上,但通过一些工程设计,我们为它们提供了耐腐蚀插入式电磁流量计,并为TMS定制了气体校准。
 
他们使用Alicat插入式电磁流量计改造了他们的系统 - 它是一个替代品 - 他们现在可以确保他们的TMS流量的准确性将保持很高,无论是满量程流量还是低于满量程的0.5%。这是因为Alicat的气体选择不仅仅是单点的k因子偏移,而是基于NIST粘度表的完整性能曲线。展望未来,Duralar无需担心因工厂温度或压力变化而导致的不准确性,因为插入式电磁流量计中的闭环传感器可补偿体积变化 - 与原始热插入式电磁流量计不同。
 
不久,Duralar正在通过将腔室抽真空来生产涂层部件,在恰好适量的气体中流动,添加材料蒸汽并将其转化为与部件结合的等离子体。在物理气相沉积中,需要真空,因为化学物质在大气气体存在下不起作用。
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插入式电磁流量计用于开发PVD过程
真空泵和三个插入式电磁流量计,用于原型设计。
 
接下来,他们想开发一种在管子和管道内沉积这种薄涂层的工艺。在管道内部涂层,可以减少磨损和腐蚀 - 非常适合在管道中流动研磨液,或保护步枪枪管内部免于生锈。该技术很巧妙:密封管的末端,管的内部成为真空室。需要的是,您需要能够改变窄管内产生等离子体的放电位置,以获得完整的涂层。因此,更多的原型设计,更多的实验和Alicat再次拯救。
 
通过使用插入式电磁流量计用于腐蚀性TMS和另外两个Alicat MC 插入式电磁流量计,他们能够随意更换气体,从多达98种内置类型和20种用户可定制的混合物中进行选择 - 甚至更多的腐蚀- 插入式电磁流量计。
 
然后,他们使用我们可下载的LabVIEW驱动程序来构建真空工艺步骤,从远程笔记本电脑控制MFC及其关闭电磁阀。在适当的时候,他们完善了这个过程,并开始建立涂层系统。现在,您可以为您的金属零件订购类似钻石的涂层 - 或者为其他人提供服务系统 - 真空镀膜比阳极氧化更耐用,同时比镀铬更快更硬。由于Alicat的插入式电磁流量计适应性,物理气相沉积变得越来越好。
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